发明名称 Procédé et appareil pour la pulvérisation cathodique
摘要
申请公布号 FR846434(A) 申请公布日期 1939.09.18
申请号 FRD846434 申请日期 1938.11.22
申请人 发明人 BERGHAUS BERNHARD
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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