Tubular electric furnace, horizontal

摘要

Przedmiotem wzoru użytkowego jest piec rurowy, poziomy, dzielony na dwie symetryczne połowy w płaszczyźnie poziomej. Piec może służyć jako piec reaktora kwarcowego do prowadzenia precyzyjnych procesów technologicznych, jak np. wzrost warstw materiałów półprzewodnikowych, a w szczególności jako piec reaktora do wzrostu warstw azotku galu metodą HVPE. Piec składa się z dwóch części: dolnego półcylindra (1) i górnego półcylindra (2) poruszających się po prowadnicach kolumnowych. Dolny półcylinder (1) i górny półcylinder (2) połączone są ze sobą systemem cięgien elastycznych (4), poprowadzonych przez krążki linowe (5), osadzone na belkach (6). Zapewnia to wymuszanie przeciwnego kierunku ruchu obu półcylindrów. Elementy grzejne i rozgrzana ceramika odsuwają się od wewnętrznych elementów reaktora umożliwiając szybkie studzenie. Podobnie, jednoczesne podnoszenie górnego półcylindra i opuszczanie dolnego półcylindra eksponują rurę reaktora ze wszystkich stron, ułatwiając operatorowi kontrolę poprawnego montażu.