五氟化磷及六氟化磷酸盐之制造方法

摘要

发明之名称：五氟化磷及六氟化磷酸盐之制造方法本发明系提供一种自五价磷化合物或其溶液、或上述5价磷化合物或其溶液与氟化氢进行反应所得的组成物中，使五氟化磷予以分离．萃取，制造该五氟化磷之五氟化磷的制造方法、及以所得的五氟化磷作为原料，制造纯度高的六氟化磷酸盐之六氟化磷酸盐的制造方法。本发明之五氟化磷的制造方法，其特征为藉由使5价磷化合物或其溶液、或溶解有上述5价磷化合物或其溶液与氟化氢进行反应所得的组成物之溶液与载负气体接触，在上述载负气体中使五氟化磷进行萃取、分离。

主权项

一种五氟化磷之制造方法，其特征为藉由使5价磷化合物或其溶液、或溶解有前述5价磷化合物或其溶液与氟化氢进行反应所得的组成物之溶液与包含由HF气体、N2气体、He气体、Ar气体、乾性气体、及碳酸气体所构成群组中选择之至少1者的载负气体接触，在前述载负气体中使五氟化磷进行萃取、分离。