以模型化光罩转角变圆作用，决定改良制程模型的方法与其电脑可读取储存媒体

摘要

一种实施例提供以模型化光罩转角变圆(MCR)作用来决定一改良制程模型之系统与技术。在操作时，该系统接收一光罩布局及制程资料，其系藉由施加一光微影制程至该光罩布局加以产生。该系统同时也接收一未校正制程模型，其可以包含一组MCR元件。再者，该系统可以指明一组在光罩布局中之转角。该系统可以然后邻近该组转角以修改该光罩布局，以取得一修改光罩布局。或者，该系统可以决定一组光罩层。再者，该系统可以藉由使用该修改光罩布局及/或该组光罩层，及该制程资料，以校正该未校正制程模型，来决定一改良制程模型。

主权项

一种决定模型化光罩转角变圆作用的改良制程模型的方法，该方法包含：接收一光罩布局；接收藉由施加一光微影制程至该光罩布局所产生之制程资料；接收一未校正制程模型；指明在该光罩布局中之一组转角；修改邻近该组转角之该光罩布局，以取得一修改光罩布局，其中对该光罩布局的修改关系于光罩转角变圆作用；及藉由使用该修改光罩布局及该制程资料，来校正该未校正制程模型，以决定该改良之制程模型。