发明名称 对准太阳板刻划之雷射光束之方法与装置
摘要 本发明描述一种在材料之顶部薄层上精确定位雷射切割线的方法,此层材料覆盖住至少一或多个其他下方层,下方层上已刻划有许多制作太阳板所用的线条。这目的可以藉由采用一部产生一或多道雷射光束以便在太阳板的顶层刻划出一或多道刻线的光学单元来达成。一对准侦测器系统附着到光学单元,而侦测器与光学单元相隔一段距离,以便侦测器测量下方层内、太阳板中即将在后续时间被划上刻线的区域内其中一道刻线的位置。一控制与运动系统自光学单元的对准侦测器系统接收资料,并将该资料用于修正在垂直于刻划方向上、光学单元相关于太阳板的相对位置,以便使雷射刻划线得以精确地摆放在相对于已经刻划在一下方层中的刻划线的位置上。一运动系统以相对于光学单元及相关的对准侦测器的方式来移动太阳板,以便侦测器遵循已经刻划在下方层其中一层之一或多条刻划线的路径,并测量一道(或多道)刻线在全部长度方向上的位置,而由光学单元在顶层所作的雷射刻划动作则在太阳板上的不同区域内同时进行。;本发明尚包含一用于执行前述方法的雷射烧蚀工具。
申请公布号 TWI456780 申请公布日期 2014.10.11
申请号 TW096142002 申请日期 2007.11.07
申请人 Tel太阳能股份有限公司 瑞士 发明人 菲力浦 朗斯拜
分类号 H01L31/18;B23K26/08 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种用于精确定位雷射刻划线条的方法,其特征在于:处理一材料的顶部薄层,此层覆盖住一或多个其他下方层,下方层上已有许多被刻划用于制作太阳板的线条,其系藉由以下所述达成此目的:一光学单元,用于产生一或多道雷射光束以便在太阳板顶层刻划出一或多道线条;一对准侦测器系统,被附着到光学单元上,其与光学单元之间相隔一段距离,以便侦测器测量下方层内、太阳板中即将在后续时间被划上刻线的区域内其中一道刻线的位置;一控制与运动系统,自附着于光学单元的对准侦测器系统接收资料,并将该资料用于修正在垂直于刻划方向上、光学单元相关于太阳板的相对位置,以便使雷射刻划线得以精确地摆放在相对于已经刻划在一下方层的刻划线的位置上;以及一运动系统,以相对于光学单元的方式来移动太阳板,而对准侦测器遵循已经被刻划在下方层其中一层上一或多条刻划线的路径,并测量一道或多道刻线在全部长度方向上的位置,而由光学单元在顶层所作的雷射刻划则在太阳板上的不同区域内同时进行。
地址 瑞士