制造光罩的方法

摘要

本发明系关于一种制造一光罩之方法，其包括设计一用于形成一第一光罩资料图案之第二光罩资料图案、使用一第一仿真程序形成一自该第二光罩资料图案确定之第一仿真图案、使用一第二仿真程序形成一自该第一仿真图案确定之第二仿真图案、将该第一仿真图案与该第二仿真图案重叠之一图案与该第一光罩资料图案比较及根据该比较之结果制造一对应于该第二光罩资料图案之光罩层。

主权项

一种制造一光罩之方法，该方法包含：设计一用于形成一第一光罩资料图案之第二光罩资料图案；使用一第一仿真程序形成一自该第二光罩资料图案确定之第一仿真图案；使用一第二仿真程序形成一自该第一仿真图案确定之第二仿真图案；将该第一仿真图案与该第二仿真图案重叠之一图案与该第一光罩资料图案比较；及根据该比较之结果制造一对应于该第二光罩资料图案之光罩层。