晶圆承盘结构改良

摘要

一种晶圆承盘结构改良，主要为：承盘本体，具有一顶端面及一底端面，该承盘本体于该顶端面成型有一承载槽，该承载槽用以供晶圆容置，该承盘本体于底端面成型有至少一连通贯孔，该连通贯孔系与该承载槽连通，每一连通贯孔系供复数推杆通过，各该推杆用以推抵该晶圆，使该晶圆离开该承盘本体。藉此可在不影响晶圆于承盘内之放置及定位的前提下，藉由使复数个推杆同时通过一连通贯孔，降低承盘在成型时之困难度；此外，并藉由以复数个推杆穿过连通贯孔后推抵晶圆，辅助晶圆离该该承盘本体，使晶圆能轻易地被取出。

主权项

一种晶圆承盘结构改良，主要为：承盘本体，具有一顶端面及一底端面，该承盘本体于该顶端面成型有一承载槽，该承载槽用以供晶圆容置，该承盘本体于底端面成型有至少一连通贯孔，该连通贯孔系与该承载槽连通，每一连通贯孔系供复数推杆通过，各该推杆用以推抵该晶圆，使该晶圆离开该承盘本体。