| 发明名称 |
反射式光罩 |
| 摘要 |
一种反射式光罩包含一基板、一第一反射复层、一第二反射复层、一第一图案化吸收层及一第二图案化吸收层。基板包含一第一表面和一第二表面，其中该第一表面与该第二表面是相对。第一反射复层形成于基板之第一表面上。第二反射复层形成于基板之第二表面上。第一图案化吸收层形成于第一反射复层上。第二图案化吸收层形成于第二反射复层上。 |
| 申请公布号 |
TWI456338 |
申请公布日期 |
2014.10.11 |
| 申请号 |
TW102118191 |
申请日期 |
2013.05.23 |
| 申请人 |
南亚科技股份有限公司 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |
发明人 |
张家铭 |
| 分类号 |
G03F1/24 |
主分类号 |
G03F1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
冯博生 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种反射式光罩，包含：一基板，包含一第一表面和一第二表面，其中该第一表面与该第二表面是相对；一第一反射复层，形成于该第一表面上；一第二反射复层，形成于该第二表面上；一第一图案化吸收层，形成于该第一反射复层上；以及一第二图案化吸收层，形成于该第二反射复层上。 |
| 地址 |
桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |
