| 发明名称 |
基板处理装置 |
| 摘要 |
本发明之基板处理装置包含：第1基板搬送机器人，其具有保持基板之手部；第2基板搬送机器人，其具有保持基板之手部；及手部清洗单元，其分别对上述第1基板搬送机器人及上述第2基板搬送机器人之手部进行清洗。上述手部清洗单元以可使上述第1基板搬送机器人及上述第2基板搬送机器人各自之手部进入之方式构成，且配置于在上述第1与第2基板搬送机器人之间交接基板之基板交接处之上方或下方。 |
| 申请公布号 |
TWI456648 |
申请公布日期 |
2014.10.11 |
| 申请号 |
TW101108432 |
申请日期 |
2012.03.13 |
| 申请人 |
大日本网屏制造股份有限公司 日本 |
发明人 |
村元僚 |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
| 主权项 |
一种基板处理装置，其包含：第1基板搬送机器人，其具有保持基板之手部；第2基板搬送机器人，其具有保持基板之手部；及手部清洗单元，其可使上述第1基板搬送机器人及上述第2基板搬送机器人各别之手部进入，而配置于在上述第1与第2基板搬送机器人之间交接基板之基板交接处之上方或下方，且对上述第1基板搬送机器人及上述第2基板搬送机器人各别之手部进行清洗。 |
| 地址 |
日本 |
