以化学气相沉积程序于多孔洞基材形成大面积石墨烯层之方法

摘要

一种以化学气相沉积程序于多孔洞基材形成大面积石墨烯层之方法，以化学气相沉积步骤形成一碳层于一多孔洞基材上，再进行一催化石墨化步骤，使沉积于该多孔洞基材的该碳层石墨化为一石墨层，最后进行一液相剥离步骤，使该石墨层薄化为一石墨烯层，本发明直接于该多孔洞基材上形成大面积之石墨烯层，且该多孔洞基材之复数个第一通道连通该石墨烯之复数个第二通道，因此，可应用于固体/液体的过滤与分离、溶液中的溶质与离子的吸附与分离、溶液中大分子与小分子的分离及不同气体的分离，达到提升分离及纯化的效果。

主权项

以化学气相沉积程序于多孔洞基材形成大面积石墨烯层之方法，其包含：　　提供一多孔洞基材，该多孔洞基材具有一第一表面、一第二表面及复数个第一通道，各该第一通道连通该第一表面及该第二表面；　　进行一化学气相沉积步骤，将该多孔洞基材置入一腔室中，提供一碳源气体至该腔室并加热该腔室，使该碳源气体产生热裂解成碳原子，碳原子进而于该多孔洞基材上沉积为一碳层，该碳层覆盖该些第一通孔；　　进行一催化石墨化步骤，将一金属催化剂覆盖于该碳层并加热该碳层，使该碳层石墨化为一石墨层，该石墨层具有一第一厚度，且该石墨层覆盖该些第一通道；以及　　进行一液相剥离步骤，以液体震荡方式使该石墨层薄化为一石墨烯层，该石墨烯层具有一第二厚度，且该石墨烯层的该第二厚度小于该石墨层之该第一厚度，该石墨烯层覆盖该些第一通道，且该石墨烯层具有复数个第二通道及一显露面，该些第二通道连通各该第一通道及该显露面。