共平面三轴定位装置

摘要

本发明系有关于一种共平面三轴定位装置，其包含一固定平台、一第一驱动模组、二第二驱动模组及一定位模组，定位模组包含一定位平台、一第一驱动轴及二第二驱动轴。第一驱动模组及二第二驱动模组驱动第一驱动轴及二第二驱动轴，带动承载一工件之定位平台于同一平面上作一第一方向、一第二方向或一第三方向之运动，以定位一工件之位置。本发明之共平面三轴定位装置结构简单、体积小及容易模组化，而且本发明之共平面三轴定位装置之定位精度达到次微米级。

主权项

一种共平面三轴定位装置，其系包含：一固定平台，具有一第一侧边及二第二侧边，该二第二侧边相对应，并分别与该第一侧边之两端相邻及正交，该固定平台设有一第一驱动模组及二第二驱动模组，该第一驱动模组设置于该第一侧边，该二驱动模组分别设置于该二第二侧边；以及一定位模组，系包含：一定位平台，位于该固定平台上，并具有一第一侧面及二第二侧面，该第一侧面对应该固定平台之该第一侧边，该二第二侧面对应该固定平台之该二第二侧边；一第一驱动轴，其一端设置于该定位平台之该第一侧面，其另一端滑设于该第一驱动模组；以及二第二驱动轴，其一端分别设置于该定位平台之该二第二侧面，其另一端分别滑设于该第二驱动模组，该二第二驱动轴与该第一驱动轴相互垂直；其中该定位平台系承载一工件，该第一驱动模组及该二第二驱动模组驱动该第一驱动轴及该二第二驱动轴，带动该定位平台于同一平面上作一第一方向、一第二方向或一第三方向之运动，以定位该工件。