湿制程设备晶圆夹自动进出旋乾机之装置

摘要

本发明揭示一种湿制程设备晶圆夹自动进出旋乾机之装置，利用传送机构使得晶圆夹沿着滑轨传送轨道进入旋乾机或从旋乾机取出。滑轨传送轨道可向前或向后移动，前端有定位销，可与制程腔体转子之定位孔进行对位，推进机构使晶舟进入该制程腔体转子内，或自该制程腔体转子内取出晶舟。或利用可容纳各种不同形状晶舟之特殊晶舟载具，与晶舟同时进入固定形状之制程腔体，以进行高速旋转之晶圆蚀刻、清洗、或晶圆乾燥等制程。

主权项

一种湿制程设备晶圆夹自动进出旋乾机之装置，利用传送机构将晶圆夹沿滑轨传送轨道送进旋乾机或自旋乾机取出，至少包含：一个晶舟，用以装载晶圆，可在滑轨传送轨道上前进或后退；一组滑轨传送轨道，可向前或向后移动，前端有定位销，可与制程腔体转子之定位孔对正；一组定位装置，该滑轨传送轨道前端有之定位销可与制程腔体转子的定位孔对正；一个传送机构，前端以晶舟夹持器夹持晶舟，该滑轨传送轨道向前，于定位销进入定位孔后，该传送机构可将晶舟在滑轨传送轨道上平稳传送至制程腔体内，以避免震动所引起的晶圆破片；以及一组推进机构，以推进螺杆推送该传送机构使晶舟进入该制程腔体转子内，或自该制程腔体转子内取出晶舟。