| 发明名称 |
量测系统、方法及微影装置 |
| 摘要 |
本发明揭示一种量测系统，该量测系统经组态以导出一物件之一位置量，该量测系统包括：至少一位置量感测器，该至少一位置量感测器经组态以提供各别位置量量测信号；一位置量计算器，该位置量计算器经组态以自该位置量量测信号判定该物件之一位置量，其中该位置量计算器包括一扭力估计器，该扭力估计器经组态以估计该物件之一扭力，该位置量计算器经组态以针对该经估计扭力来校正该物件之该经判定位置量。 |
| 申请公布号 |
TWI456677 |
申请公布日期 |
2014.10.11 |
| 申请号 |
TW100119440 |
申请日期 |
2011.06.02 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰 |
发明人 |
寇克斯 汉李克斯 赫曼 马里;柯恩 威廉 赫曼 捷度达 安纳;马他尔 汤玛斯 奥古特斯;皮耶特斯 马汀努斯 赛多鲁丝 雅伯各司;斐库真 罗伯 安东努司 安德烈斯 |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/68;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林嘉兴 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种经组态以导出一物件之一位置量的量测系统，该位置量包含位置、速度及加速度中之至少一者，该量测系统包含：一位置量感测器，该位置量感测器经组态以提供一位置量量测信号；一位置量计算器，该位置量计算器经组态以自该位置量量测信号判定该物件之一位置量，其中该位置量计算器包含一扭力估计器(torsion estimator)，该扭力估计器经组态以估计该物件之一扭力，该位置量计算器经组态以自该经估计扭力校正该物件之该经判定位置量。 |
| 地址 |
荷兰 |
