摘要 |
在输送装置时,可将装置小型化,以让装置的输送能顺利地进行。;在架台(1)的上面,设置可载置基板之基板保持机构(8),在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b),亦即分别设有:其磁铁板(7)和沿着导轨(7a、7b)移动而作为架台侧支承构件(5a、5b)之滑动件(30a、30b)。此外,在框架(2b)的横梁(3b)之各前端部设置横梁侧支承构件(4a、4b),其等的前端部之L字形金属构件(31a、31b)分别被载置于滑动件(30a、30b)的上面而藉由紧固螺栓固定住,藉此将框架(2b)可移动地安装于架台(1)。而且,藉由卸下该紧固螺栓,可将框架(2b)从架台(1)分离。另一方的框架(2a)也是同样的。 |