磁控式电浆溅镀机

摘要

一种磁控式电浆溅镀机，包含：一溅镀腔体、一引导线圈及一磁控装置。该溅镀腔体具有一承载底部及一结合端部，该承载底部与该结合端部系为两相对端部，该承载底部系供设置一被镀物，该结合端部系供设置一靶材，该承载底部及结合端部之间系界定形成一溅镀空间，且一参考线系依序延伸通过该承载底部、溅镀空间及结合端部；该引导线圈系以该溅镀腔体之参考线为中心轴绕制而成，且该引导线圈系围绕该溅镀空间；该磁控装置系设置于该溅镀腔体具有该结合端部的一侧，且该磁控装置具有一磁化侧，该磁化侧系朝向该结合端部。

主权项

一种磁控式电浆溅镀机，其包含：一溅镀腔体，具有一承载底部及一结合端部，该承载底部与该结合端部系为两相对端部，该承载底部系供设置一被镀物，该结合端部系供设置一靶材，该承载底部及结合端部之间系界定形成一溅镀空间，且一参考线系依序延伸通过该承载底部、溅镀空间及结合端部；一引导线圈，系以该溅镀腔体之参考线为中心轴绕制而成，且该引导线圈系围绕该溅镀空间；及一磁控装置，系设置于该溅镀腔体具有该结合端部的一侧，且该磁控装置具有一磁化侧，该磁化侧系朝向该结合端部；其中该磁控装置包含一轭铁、一主磁性控制件及一外环磁性控制件，该主磁性控制件及该外环磁性控制件系设置于该轭铁之一承载面上，且该外环磁性控制件系沿着该主磁性控制件之外周环周设置，该外环磁性控制件具有一环周磁铁及一环周电磁线圈，该环周磁铁系设置于该轭铁之承载面上，该环周电磁线圈系绕设在该环周磁铁周围。