研磨装置之研磨面的加热／冷却装置

摘要

本发明提供一种用于加热或冷却研磨面之装置。此装置包含当在研磨工件时配置成面对研磨面之热交换器。该热交换器包含热交换媒介流经之媒介通道，以及面对研磨面之底表面。该底表面之至少一部分于研磨面上方以向上斜度倾斜，使得在研磨面上之研磨液于研磨面移动期间产生施加于底表面上之升力(lift)。

主权项

一种研磨装置之研磨面的加热/冷却装置，该研磨装置系可操作成藉由工件与该研磨面间之滑动接触并同时将研磨液供应至该研磨面上来研磨该工件，该研磨面的加热/冷却装置包括：热交换器，配置成当研磨该工件时面对该研磨面，其中，该热交换器包含(i)供热交换媒介流通之媒介通道，以及(ii)面对该研磨面之底表面，该底表面之至少一部分于该研磨面上方以向上斜度倾斜，以使存在于该研磨面与该底表面间之该研磨液于该研磨面移动期间产生施加于该底表面上之升力。