Zinkoxid-Schwefelsensoren und Verfahren zu deren Herstellung

摘要

Es ist ein Sensor zum Bestimmen der Schwefelkonzentration in einer Flüssigkeit, wie z. B. flüssigem Kraftstoff, offenbart. Der Sensor weist ein Substrat (30) auf, das zumindest teilweise mit Zinkoxid und insbesondere mit Zinkoxid-Mikrostrukturen beschichtet ist. Die Zinkoxid-Mikrostrukturen weisen eine Kristallgitterstruktur, die in der (002)-Ebene orientiert ist, einen Sauerstoffmangel und eine stäbchenartige Mikrostruktur auf. Wenn das Substrat (30) leitend ist, kann es direkt mit einer Arbeitselektrode (32) verbunden sein, die mit einem Potentiometer (36) verbunden ist, das wiederum mit einer Referenzelektrode (35) verbunden ist. Wenn das Substrat (30) nicht-leitend ist, kann vor dem Abscheiden des Zinkoxids eine leitende Schicht auf dem Substrat (30) zur Bildung einer Arbeitselektrode (32) abgeschieden werden. Das Anlegen eines konstanten Stroms (oder Spannung) an jede Elektrode wird zu einer Spannung über (oder einem Stromfluss zwischen) der Arbeitselektrode und der Referenzelektrode (32) führen.