摘要 |
Pankratisches Vergrößerungssystem für mindestens zwei Beobachtungs-Strahlengänge, mit mindestens zwei Vergrößerungs-Strahlenkanälen (12, 13) und mit mindestens zwei optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) in jedem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13), wobei die wenigstens zwei optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) in einem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13) entlang einer gemeinsamen optischen Achse (20, 21) in dem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13) verschiebbar angeordnet sind, wobei in jedem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13) die mindestens zwei verschiebbar angeordneten optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) mit jeweils einem eigenen separaten elektrischen Antrieb (22, 23, 24, 25) verbunden und jede der optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) einzeln über den eigenen elektrischen Antrieb (22, 23 24, 25) entlang der optischen Achse (20, 21) verschiebbar sind. |