发明名称 Pankratisches Vergrößerungssystem
摘要 Pankratisches Vergrößerungssystem für mindestens zwei Beobachtungs-Strahlengänge, mit mindestens zwei Vergrößerungs-Strahlenkanälen (12, 13) und mit mindestens zwei optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) in jedem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13), wobei die wenigstens zwei optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) in einem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13) entlang einer gemeinsamen optischen Achse (20, 21) in dem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13) verschiebbar angeordnet sind, wobei in jedem Vergrößerungs-Strahlenkanal (12, 13) die mindestens zwei verschiebbar angeordneten optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) mit jeweils einem eigenen separaten elektrischen Antrieb (22, 23, 24, 25) verbunden und jede der optischen Komponenten (16, 17, 18, 19) einzeln über den eigenen elektrischen Antrieb (22, 23 24, 25) entlang der optischen Achse (20, 21) verschiebbar sind.
申请公布号 DE10321689(B4) 申请公布日期 2014.10.09
申请号 DE2003121689 申请日期 2003.05.14
申请人 CARL ZEISS MEDITEC AG 发明人 MÜLLER, ROLAND
分类号 G02B23/18;G02B7/04;G02B21/00;G02B21/02;G02B21/22 主分类号 G02B23/18
代理机构 代理人
主权项
地址