Mikromechanische Sensorvorrichtung und entsprechendes Betriebsverfahren

摘要

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Betriebsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung umfasst ein Substrat (1) mit einem Membranbereich (M); eine erste Mehrzahl von auf oder in dem Membranbereich (M) gebildeten ersten piezoresistiven Widerständen (R1–R4); eine zweite Mehrzahl von auf oder in dem Substrat (S) neben dem Membranbereich (M) gebildeten zweiten piezoresistiven Widerständen (R1a-R4a). Jeweils ein erster piezoresistiver Widerstand (R1–R4) und ein zweiter piezoresistiver Widerstand (R1a–R4a) sind in Serie geschaltet sind und bilden ein jeweiliges Widerstandspaar (R1, R1a; R2, R2a; R3, R3a; R4, R4a). Parallel zum ersten und/oder zweiten piezoelektrischen Widerstand eines jeweiligen Widerstandspaares (R1, R1a; R2, R2a; R3, R3a; R4, R4a) ist eine jeweilige Kurzschlusseinrichtung (D1–D4; D1a–D4a) geschaltet, wodurch bei Anlegen einer Spannung einer ersten Polarität an das Widerstandspaar (R1, R1a; R2, R2a; R3, R3a; R4, R4a) ein entsprechender vom ersten und zweiten piezoelektrischen Widerstand kurzschließbar ist und bei Anlegen einer Spannung einer entgegengesetzten zweiten Polarität nicht.