一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层及制备方法

摘要

本发明公开一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层及制备方法。所述具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层是采用多靶磁控溅射仪，由TiSiC复合靶材在依次经抛光、超声波清洗、离子清洗后的基体上进行磁控溅射反应沉积而形成的。所述TiSiC复合靶材中，按原子比计算，Ti为84%，Si和C的总原子量为16%。该TiSiCN纳米复合涂层的硬度为36.1-46.0GPa，与GCr15钢球的摩擦系数为0.30-0.38，可用在干式、高速切削加工刀具以及在摩擦磨损条件服役的部件表面，从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。

主权项

一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层，其特征在于所述具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层是采用多靶磁控溅射仪，由TiSiC复合靶材在依次经抛光、超声波清洗、离子清洗后的基体上进行磁控溅射反应沉积而形成的；所述的基体为金属、硬质合金、陶瓷或单晶Si。