压印装置和制造物品的方法

摘要

本发明提供了一种压印装置，该压印装置包括：变形单元，构造成通过向模具施加第一力而使得图案表面变形；测量单元，构造成测量图案表面的变形量；控制单元，该控制单元构造成控制测量单元，以便测量图案表面在多个状态中的各状态中的变形量，在这些状态中，多个第一力由变形单元施加在模具上；计算单元，构造成计算作为施加给模具的力的变化的函数的、变形量的变化率；以及校准单元，该校准单元构造成根据变形量的变化率来校准控制图，该控制图描述了在压印处理中的时间和要施加给模具的力。

主权项

一种压印装置，该压印装置执行这样的压印处理：在具有形成有图案的图案表面的模具压靠基片上的树脂的同时固化所述树脂；以及使模具与固化的树脂分离，从而将所述图案转印至基片上，该压印装置包括：变形单元，该变形单元被构造成通过向模具施加第一力而使图案表面变形；第一测量单元，该第一测量单元被构造成测量图案表面的变形量；控制单元，该控制单元被构造成控制所述第一测量单元，以便在多个状态中的每个状态中测量图案表面的变形量，在所述状态中，多个第一力由变形单元施加于模具上；计算单元，该计算单元被构造成根据在施加给模具的所述多个第一力中的每个第一力和与所述多个第一力中的每个第一力对应的图案表面的变形量之间的关系来计算作为由所述变形单元施加给模具的第一力的变化的函数的、图案表面的变形量的变化率；以及校准单元，该校准单元被构造成根据由所述计算单元计算的、图案表面的变形量的变化率来校准第一控制图，使得在压印处理中图案表面的变形量变成目标量，所述第一控制图描述了在压印处理中的时间和要由所述变形单元施加给模具的第一力之间的关系。