发明名称 |
光源装置 |
摘要 |
提供光源装置,在发光管内能以大立体角聚光光束,防止能量密度高的光束碰到发光管的壁。发光管(1)是凸型弯月形构造,作为聚光单元(31)起作用。从激光振荡部(2)放射的激光束通过聚光单元(31)在发光管(1)的内部以增大立体角的方式被聚光。由此形成高温等离子体状态,使得发光管发光。将发光管(1)的壁自身作为聚光单元,因而可增大聚光时的立体角,并且所聚光的光束不照射发光管(1)的壁,可防止发光管的加热或破损。作为聚光单元,只要是凸透镜、棒形透镜等可将光聚光的形状即可,也可使用其他,也可以设置多个聚光单元。并且,将聚光单元安装于发光管的内表面也可得到同样的效果。 |
申请公布号 |
CN102043346B |
申请公布日期 |
2014.10.08 |
申请号 |
CN201010510483.1 |
申请日期 |
2010.10.13 |
申请人 |
优志旺电机株式会社;安乃捷科技公司 |
发明人 |
横田利夫;住友卓;安田幸夫 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;H01J61/02(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
谢丽娜;关兆辉 |
主权项 |
一种光源装置,具备:封入有发光气体并由石英玻璃构成的大致球状的发光管;以及朝着该发光管放射激光束的激光振荡部,所述石英玻璃是来自所述发光气体的光穿透的部件并形成所述发光管全体,其特征为,在所述激光束的光路上在所述发光管的管壁作为该发光管的管壁的一部分熔敷接合有聚光单元,所述聚光单元使所述激光束在所述发光管的内部聚焦并由石英玻璃构成,所述发光管被反射镜包围。 |
地址 |
日本国东京都千代田区 |