镍靶材组件的加工方法及加工装置

摘要

本发明提供一种镍靶材组件的加工方法，包括：提供一侧设有多个水槽的背板、纯度为99.99％的镍靶材坯料；将镍靶材坯料与背板焊接在一起；将镍靶材组件固定在车床上对镍靶材坯料进行车削加工以得到镍靶材；将镍靶材组件固定在磨床上对镍靶材进行磨削加工。通过合理选用车床刀片，严格控制加工参数减小了车床加工时镍靶材表面上的缺陷；待车床加工完成后，利用磨床并合理选用磨具对镍靶材进行磨削、抛光以进一步减小镍靶材表面上的缺陷，从而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的镍靶材，进而得到符合溅射性能的镍靶材组件。本发明还提供一种能对上述镍靶材组件进行加工的加工装置。

主权项

一种镍靶材组件的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一侧设有多个水槽的背板、纯度为99.99％的镍靶材坯料；将所述镍靶材坯料与所述背板焊接在一起，所述背板为圆形，所述水槽为与所述背板同心的环形水槽，所述水槽设置在背板背离镍靶材坯料的一侧；将所述镍靶材组件固定在车床上对所述镍靶材坯料进行车削加工以得到镍靶材，所述车床的刀具采用立方氮化硼刀片，所述车削加工包括粗加工及粗加工之后的精加工：进行所述粗加工时，所述车床的主轴转速为300r/min～500r/min，所述车床的进给量为0.3mm～0.5mm；进行所述精加工时，所述车床的主轴转速为250r/min～300r/min，所述车床的进给量为0.01mm～0.1mm；将所述镍靶材组件固定在磨床上对所述镍靶材进行磨削加工，所述磨床的磨具采用立方氮化硼砂轮，所述立方氮化硼砂轮的粒度为180目，所述所述立方氮化硼砂轮的转速为2800r/min～3200r/min，所述立方氮化硼砂轮的进给速度为450mm/min～550mm/min，所述立方氮化硼砂轮的进给量为0.005mm～0.02mm。