带有阀盖的活板输送阀

摘要

本发明涉及一种带有阀盖的活板输送阀。细长的第一开口可借由细长的阀关闭梁来关闭，阀关闭梁可经由枢转支承件绕枢转轴线在关闭位置和开启位置之间枢转。轴杆可借由驱动机构绕轴杆轴线旋转并操作连接至阀关闭梁，使得轴杆的旋转引起阀关闭梁枢转。阀关闭梁、枢转支承件和轴杆在气密的阀壳体中设置在阀盖上，其中轴杆、枢转支承件和阀关闭梁可通过分离和移除阀盖而从阀壳体分离。本发明的一个方面公开了枢转支承件至少由三个支承元件形成，这些支承元件在阀壳体内沿着轴杆轴线彼此相距一定距离地分布，阀关闭梁和轴杆安装在阀壳体上。轴杆轴线与枢转轴线相距一定距离。第一臂设置在轴杆上，借由第一臂可向阀关闭梁的背面施加力，以便枢转阀关闭梁。

主权项

一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基板工艺处理室中，该活板输送阀具有：细长的第一开口(1)，该第一开口沿第一纵向轴线(2)延伸并且被第一密封表面(3)以框架的形式包围；细长的阀关闭梁(4)，该阀关闭梁沿着大致平行于所述第一纵向轴线(2)的第二纵向轴线(5)延伸，并且所述阀关闭梁在正面(6)上具有用于关闭所述第一开口(1)的关闭表面(8)以及对应于所述第一密封表面(3)并且能与所述第一密封表面(3)气密地接触的第二密封表面(9)；枢转支承件，所述阀关闭梁(4)能借由该枢转支承件绕大致平行于所述第二纵向轴线(5)的枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(O)之间进行枢转；在所述关闭位置(C)中，所述阀关闭梁(4)的所述关闭表面(8)覆盖并关闭所述第一开口(1)，并且所述第一密封表面(3)与所述第二密封表面(9)形成气密接触；而在所述开启位置(O)中，所述阀关闭梁(4)枢转离开所述第一开口(1)从而释放所述第一开口(1)；轴杆(11)，该轴杆能绕大致平行于所述第二纵向轴线(5)的轴杆轴线(12)旋转，并且所述轴杆(11)操作连接至所述阀关闭梁(4)，使得所述轴杆(11)绕所述轴杆轴线(12)的旋转致使所述阀关闭梁(4)绕所述枢转轴线(10)枢转；以及至少一个驱动机构(13)，所述至少一个驱动机构结合至所述轴杆(11)以便使所述轴杆(11)旋转，从而使所述阀关闭梁(4)在所述开启位置(O)与所述关闭位置(C)之间运动；所述活板输送阀包括：气密的阀壳体(14)，该阀壳体具有：位于所述阀壳体(14)的第一开口表面(15)上的所述第一开口(1)；以及与所述第一开口(1)相对的第二开口(17)，该第二开口位于所述阀壳体(14)的与所述第一开口表面(15)相对的第二开口表面(16)上；其中：所述阀关闭梁(4)、所述枢转支承件和所述轴杆(11)设置在所述阀壳体(14)中；在细长的侧壁(18)上，所述阀壳体(14)具有阀盖(20)，该阀盖以气密方式结合至所述阀壳体(14)的其余部分并且能沿与所述第一开口表面(15)平行的横向方向(19)被移除；所述轴杆(11)在所述阀盖(20)上安装成能旋转；所述枢转支承件、所述轴杆(11)和所述阀关闭梁(4)在所述阀盖(20)上布置成通过沿所述横向方向(19)分离并移除所述阀盖(20)而使所述轴杆(11)、所述枢转支承件和所述阀关闭梁(4)能从所述阀壳体(14)分离；所述驱动机构(13)设置在所述阀壳体(14)的与所述阀盖(20)分离的部分上；并且能沿所述横向方向(19)拆除的联轴器(21)设置在所述轴杆(11)与所述驱动机构(13)之间，并且所述联轴器设计成使得所述轴杆(11)能从所述驱动机构(13)分离以便将所述阀盖(20)移除。