一种刻蚀液储液装置及湿法刻蚀设备

摘要

本发明的实施例提供一种刻蚀液储液装置及湿法刻蚀设备，涉及显示技术领域，可降低刻蚀液中杂质离子的浓度，避免刻蚀液的频繁更换，从而保证刻蚀工艺的稳定性，同时还能延长刻蚀液的使用寿命，从而降低成本；所述刻蚀液储液装置包括刻蚀液存储罐、用于将刻蚀液中的离子进行选择性透过的离子交换膜、以及位于所述离子交换膜两侧的阳极和阴极；其中，所述离子交换膜与所述阳极之间构成第一腔室，所述离子交换膜与所述阴极之间构成第二腔室；用于湿法刻蚀设备的制造。

主权项

一种刻蚀液储液装置，其特征在于，所述刻蚀液储液装置包括刻蚀液存储罐、用于将刻蚀液中的离子进行选择性透过的离子交换膜、以及位于所述离子交换膜两侧的阳极和阴极；其中，所述离子交换膜与所述阳极之间构成第一腔室，所述离子交换膜与所述阴极之间构成第二腔室。