| 发明名称 | 一种洗涤器机台之喷头装置 | ||
| 摘要 | 一种洗涤器机台之喷头装置，包括：N<sub>2</sub>流量管，呈<img file="DDA0000539108180000011.GIF" wi="81" he="48" />型设计，且N<sub>2</sub>流量管之主进气管与分别设置在主进气管两侧的第一分支气管和第二分支气管连通设置；去离子水滴头，设置在N<sub>2</sub>流量管之第一分支气管的端部；N<sub>2</sub>喷头，设置在N<sub>2</sub>流量管之第二分支气管的端部。本发明通过设置呈<img file="DDA0000539108180000012.GIF" wi="81" he="53" />型设计的N<sub>2</sub>流量管，并在所述N<sub>2</sub>流量管之主进气管两侧分别设置相互连通的第一分支气管和第二分支气管，在所述N<sub>2</sub>流量管之第一分支气管的端部设置去离子水滴头，在所述N<sub>2</sub>流量管之第二分支气管的端部设置N<sub>2</sub>喷头，不仅可提高去离子水与待清洗硅片表面交界处水的流速，增强去颗粒缺陷能力，同时避免了高宽比及脆弱图形的损伤，增加了清洗窗口。 | ||
| 申请公布号 | CN104091756A | 申请公布日期 | 2014.10.08 |
| 申请号 | CN201410340168.7 | 申请日期 | 2014.07.17 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 宋振伟 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 王宏婧 |
| 主权项 | 一种洗涤器机台之喷头装置，其特征在于，所述洗涤器机台之喷头装置，包括：N<sub>2</sub>流量管，呈<img file="FDA0000539108150000011.GIF" wi="79" he="53" />型设计，且所述N<sub>2</sub>流量管之主进气管与分别设置在所述主进气管两侧的第一分支气管和第二分支气管连通设置；去离子水滴头，设置在所述N<sub>2</sub>流量管之第一分支气管的端部，并与待清洗之硅片垂直设置；N<sub>2</sub>喷头，设置在所述N<sub>2</sub>流量管之第二分支气管的端部，并与所述待清洗之硅片垂直设置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||