发明名称 一种OLED制备方法
摘要 本发明涉及显示技术领域,公开一种OLED制备方法,包括以下步骤:依次蒸镀多层有机薄膜,其中:在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前,包括:检测基板上的颗粒缺陷信息;当检测到颗粒缺陷存在时,通过缺陷修复工艺修复所述颗粒缺陷。此种OLED制备方法在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前,增加检测基板上的颗粒缺陷信息的工艺环节,当检测到颗粒缺陷存在时,立即进行修复,能够在多层有机薄膜的形成过程中及时发现并修复颗粒缺陷,从而减少有机材料的浪费。
申请公布号 CN104091901A 申请公布日期 2014.10.08
申请号 CN201410288714.7 申请日期 2014.06.24
申请人 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 发明人 吴海东;马群
分类号 H01L51/56(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L51/56(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种OLED制备方法,其特征在于,包括以下步骤:依次蒸镀多层有机薄膜,其中:在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前,包括:检测基板上的颗粒缺陷信息;当检测到颗粒缺陷存在时,通过缺陷修复工艺修复所述颗粒缺陷。
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