发明名称 |
一种OLED制备方法 |
摘要 |
本发明涉及显示技术领域,公开一种OLED制备方法,包括以下步骤:依次蒸镀多层有机薄膜,其中:在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前,包括:检测基板上的颗粒缺陷信息;当检测到颗粒缺陷存在时,通过缺陷修复工艺修复所述颗粒缺陷。此种OLED制备方法在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前,增加检测基板上的颗粒缺陷信息的工艺环节,当检测到颗粒缺陷存在时,立即进行修复,能够在多层有机薄膜的形成过程中及时发现并修复颗粒缺陷,从而减少有机材料的浪费。 |
申请公布号 |
CN104091901A |
申请公布日期 |
2014.10.08 |
申请号 |
CN201410288714.7 |
申请日期 |
2014.06.24 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
发明人 |
吴海东;马群 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种OLED制备方法,其特征在于,包括以下步骤:依次蒸镀多层有机薄膜,其中:在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前,包括:检测基板上的颗粒缺陷信息;当检测到颗粒缺陷存在时,通过缺陷修复工艺修复所述颗粒缺陷。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |