MEMS器件以及具有投影功能的电子设备

摘要

在MEMS器件(1)中，第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件(10)倾斜。

主权项

一种MEMS器件(1)，其特征在于，具有：光学部件(10)，驱动部(21、22)，其包含驱动单元(30)，用于使所述光学部件倾斜，所述驱动单元(30)具有第一驱动部(40)、第二驱动部(50)和第一连接部(60)，所述第一驱动部(40)以及第二驱动部(50)在第一方向上延伸并且沿与所述第一方向大致垂直的第二方向配置，所述第一连接部(60)连接所述第一驱动部和所述第二驱动部；所述第一驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第一驱动部分(41)和所述第一方向的另一侧的第二驱动部分(42)，所述第二驱动部被分割成所述第一方向的一侧的第四驱动部分(52)和经由所述第一连接部与所述第二驱动部分连接的所述第一方向的另一侧的第三驱动部分(51)，所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分相互独立地被驱动控制，通过对所述第一驱动部分、所述第二驱动部分、所述第三驱动部分以及所述第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，使所述光学部件倾斜。