一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源

摘要

本发明公开了一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源，该激光光源包括叠层设置的锥形(Taper)增益结构和SOI脊型波导结构，其中该锥形增益结构通过回流焊技术倒装贴合于该SOI脊型波导结构之上。本发明通过在周期性微槽混合激光器中引入III-V族Taper结构并生长光学下限制层，提高了有源区限制因子，从而增加了III-V族中的模式增益；同时Taper结构的引入保证了III-V族结构与硅波导的高效耦合，实现单纵模激光从硅波导输出。本发明制作成本较低，可用于硅基光互连，光通信中的激光光源，提高了III-V族光源与硅波导的耦合效率，实现了高效耦合的单模混合硅基半导体激光光源。

主权项

一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源，其特征在于，该激光光源包括叠层设置的锥形(Taper)增益结构和SOI脊型波导结构，其中该锥形增益结构通过回流焊技术倒装贴合于该SOI脊型波导结构之上。