衍射光栅及其制造方法

摘要

本发明的目的在于：提供一种面精度优良、小型、能够轻量化的衍射光栅、及其制造方法。本发明的衍射光栅的特征在于：具备厚度为0.5mm～8mm的玻璃基板(20)、形成在玻璃基板(20)的一个面上的具有凹凸图案的由树脂构成的细微构造体(10)、形成在玻璃基板(20)的另一个面上的平坦的树脂层(30)。在玻璃基板(20)的面精度大于λ/2的情况下，由于树脂层(30)的平坦性，细微构造体(10)也不受到玻璃基板(20)的面精度的影响，能够制作面精度优良的衍射光栅的复制品。另外，能够减薄玻璃基板，因此能够谋求衍射光栅的小型、轻量化。

主权项

一种衍射光栅的制造方法，该衍射光栅在玻璃基板的表面形成了具有凹凸图案的细微构造体，该衍射光栅的制造方法的特征在于包括：在面精度小于等于λ/2的平板上，配置向两面供给了光硬化性树脂的厚度为0.5mm～8mm的玻璃基板的工序；用上述平板和具有凹凸图案的原盘夹住向两面涂膜了光硬化性树脂的上述玻璃基板并加压，向上述原盘的凹凸图案填充与上述原盘相对的光硬化性树脂的工序；使上述光硬化性树脂硬化的工序；通过从上述玻璃基板上的光硬化性树脂剥离，而在上述玻璃基板的一个面上形成具有凹凸图案的微细构造体、在另一个面上形成平坦的树脂层的工序。