通过外加纵向电场控制ZnO生长形貌的方法及其装置

摘要

一种通过外加纵向电场控制ZnO生长形貌的方法：取纯度大于99.9%的锌源，称重后将锌源放入石英舟内，在锌源的下游方向0.5-4cm处设置上金属片和下金属片，外加电压为5-50V，将清洗干净的衬底放置到下金属片上，向石英舟所在的石英管中通入载气氩气和反应气体氧气，石英管内的压力控制在10万Pa以下，氩气流量控制在10-1000ml/min，氧气流量控制在1-500ml/min，生长温度控制在400-1000℃，生长时间为10-60min，生长完成后，关闭氧气，保持10-1000ml/min的流量继续通入氩气，当石英管内的温度降到室温后，取出生长出ZnO材料的衬底。这是一种能够对ZnO的生长形貌进行控制，以获得高效、稳定紫外发光器件的方法，以及该种方法所应用的装置。

主权项

一种通过外加纵向电场控制ZnO生长形貌的方法，其特征在于：所述的方法按照以下步骤进行：取纯度大于99.9%的锌源，称重后将锌源放入石英舟内，在锌源的下游方向0.5‑4cm处设置分别与电源的正负极相连的上金属片和下金属片，外加电压为5‑50V，将清洗干净的衬底放置到下金属片上，而衬底距离上金属片为0.1‑5cm，向石英舟所在的石英管中通入载气氩气和反应气体氧气，石英管内的压力控制在10万Pa以下，氩气流量控制在10‑1000ml/min，氧气流量控制在1‑500ml/min，生长温度控制在400‑1000℃，生长时间为10‑60min，生长完成后，关闭氧气，保持10‑1000ml/min的流量继续通入氩气，当石英管内的温度降到室温后，取出生长出ZnO材料的衬底样品。