热致发声元件的制备方法

摘要

一种热致发声元件的制备方法，其包括以下步骤：提供一金属基体，该金属基体具有一第一表面和与该第一表面相对的第二表面；采用化学气相沉积法在所述金属基体的第一表面生长石墨烯膜；提供一非金属基体，该非金属基体具有一第一表面和与该第一表面相对的第二表面；将所述金属基体和所述石墨烯膜设置于所述非金属基体的第一表面，所述石墨烯膜位于所述金属基体和所述非金属基体的第一表面之间；至少部分除去所述金属基体；从所述非金属基体的第二表面将所述非金属基体镂空，使所述非金属基体含有多个通孔，所述石墨烯膜对应所述通孔的部位暴露出来。

主权项

一种热致发声元件的制备方法，其包括以下步骤：提供一金属基体，该金属基体具有一第一表面和与该第一表面相对的第二表面；采用化学气相沉积法在所述金属基体的第一表面生长石墨烯膜；提供一非金属基体，该非金属基体具有一第一表面和与该第一表面相对的第二表面；将所述金属基体和所述石墨烯膜设置于所述非金属基体的第一表面，所述石墨烯膜位于所述金属基体和所述非金属基体的第一表面之间；至少部分除去所述金属基体；以及从所述非金属基体的第二表面将所述非金属基体镂空，使所述非金属基体含有至少一个通孔，所述石墨烯膜对应所述通孔的部位暴露出来。