一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置

摘要

本实用新型公开一种能够减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，包括：所述多晶硅铸锭炉包括炉壁、热场、热交换台、加热器、石英坩埚，所述的热场设于炉壁内侧，所述的石英坩埚设于热场内，坩埚外侧设于加热器两侧，所述的坩埚设于热交换台下，其特征在于：包括热电偶、恒温箱，所述的热电偶包括热电偶热端、热电偶冷端、热电偶引出线，所述的热电偶热端伸入热场内，热电偶冷端露出炉壁外部，恒温箱将热电偶冷端罩住，所述热电偶冷端连接导线，导线将热电偶冷端的信号引出至恒温箱外。本实用新型结构简单，通过在热电偶冷端增设恒温箱，有效提高多晶硅铸锭炉的测温精确度，有益效果明显，适于产业化生产。

主权项

一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，所述多晶硅铸锭炉包括炉壁（1）、热场、热交换台（5）、加热器（3）、石英坩埚（2），所述的热场设于炉壁（1）内侧，所述的石英坩埚（2）设于热场内，坩埚外侧设于加热器（3）两侧，所述的坩埚设于热交换台（5）下，其特征在于：包括热电偶（6）、恒温箱（7），所述的热电偶（6）包括热电偶热端（61）、热电偶冷端（62）、导线（63），所述的热电偶（6）热端（61）热端伸入热场内，热电偶冷端（62）露出炉壁（1）外部，恒温箱（7）将热电偶（6）冷端（62）罩住，所述热电偶冷端（62）连接导线，导线将热电偶冷端（62）的信号引出至恒温箱（7）外。