金属膜光学检测装置和检测方法

摘要

本发明涉及金属膜光学检测装置和检测方法。该装置包括承载器，在承载器的第一位置设置有斜朝向金属膜和基板的光源，在承载器的第二位置设置有接受来自金属膜或基板的反射光束的光敏感应器，处理来自光敏感应器的光信号的分析单元。分析单元根据入射光束与承载器之间的夹角、对应于金属膜的第一反射光斑与光源之间的第一长度、对应于基板的第二反射光斑与光源之间的第二长度而得到金属膜的厚度。使用这种金属膜光学检测装置能够以不与金属膜接触的方式测量金属膜的厚度，测量精度高。

主权项

一种金属膜光学检测装置，包括承载器，在所述承载器的第一位置设置有斜朝向金属膜和基板发射入射光束的光源，在所述承载器的第二位置设置有接受来自所述金属膜或基板的反射光束的光敏感应器，处理来自所述光敏感应器的光信号的分析单元，其中，所述分析单元根据所述入射光束与承载器之间的夹角、对应于金属膜的第一反射光斑与光源之间的第一长度、对应于基板的第二反射光斑与光源之间的第二长度而得到所述金属膜的厚度。