发明名称 化学液存储装置
摘要 本发明公开了一种化学液存储装置,包括:化学液回收管路,所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中,其管壁均匀分布小孔并且末端封堵;化学液循环管路,所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中,其管壁均匀分布小孔并且末端封堵。本发明的化学液存储装置,通过化学液回收管路的特殊布局最终达到自循环的化学液与回收的化学液的充分混合,实现起来较为简单,并且其结构简单有助于装置的维修和清洗。
申请公布号 CN102895892B 申请公布日期 2014.10.08
申请号 CN201210375237.9 申请日期 2012.09.29
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 王营营
分类号 B01F5/10(2006.01)I;B01F15/02(2006.01)I;B65D90/00(2006.01)I 主分类号 B01F5/10(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 王莹
主权项 一种化学液存储装置,其特征在于,包括:化学液回收管路,所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中,其管壁均匀分布小孔并且末端封堵;化学液循环管路,所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中,其管壁均匀分布小孔并且末端封堵;其中,所述化学液回收管路和所述化学液循环管路末端用堵塞封堵或用焊接封堵。
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