| 发明名称 | 用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。 | ||
| 申请公布号 | CN104094377A | 申请公布日期 | 2014.10.08 |
| 申请号 | CN201280062842.9 | 申请日期 | 2012.10.17 |
| 申请人 | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会 | 发明人 | H.莫格纳;G.马陶施;C.梅茨纳;M.容黑内尔;R.拉比茨克;L.克洛泽;T.维尔纳;J.库布斯 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 卢江;刘春元 |
| 主权项 | 用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于所述空心阴极（13；14）的电极（15；16），所述电极具有穿过所述电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压，其特征在于，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||