供气装置

摘要

本发明提供一种包括加热器的供气装置，能实现其小型化及高度集成化，所述加热器对流通于流路内的气体加热。供气装置(10)中，各流路块(20)形成为长条状延伸的长方体状并包括搭载有多个开闭阀(50)的顶面(20a)。开闭阀(50)沿顶面(20a)的长度方向直列式排列。多个流路块(20)并行排列使得在宽度方向夹持顶面(20a)的两侧面(20c)彼此相邻。在多个流路块(20)的相邻侧面(20c)夹持加热器(31)的状态下，多个流路块(20)形成为一体。加热器(31)形成为膜状，其两面与流路块(20)的侧面(20c)相向且沿着流路块(20)的长度方向延伸。

主权项

供气装置，包括内部设有流路的多个流路块、对各流路块的所述流路中流通的气体的流通状态分别进行改变的开闭阀、以及加热器，所述加热器通过所述加热器的两面发热对所述流路中流通的气体进行加热，其特征在于，所述各流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，包括搭载有多个所述开闭阀的阀搭载面；所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行直列式配置；所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面彼此相邻；在所述多个流路块的相邻的所述两侧面夹持所述加热器的状态下，所述多个流路块形成为一体；其中，所述开闭阀是电磁阀，所述电磁阀在其线圈的外周具有壳体，以及所述供气装置还包括导热部件，所述导热部件连接所述电磁阀的所述壳体和所述阀搭载面，以用于对所述流路中流通的气体进行加热。