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Eine Vorrichtung für einen fokussierten Ionenstrahl ist dazu ausgebildet, einen Ablauf zum Steuern eines Betriebes von einer Kühleinheit derart durchzuführen, dass eine Temperatur einer Wandfläche, mit welcher ein Quellengas in Kontakt steht, in einer Ionenquelle-Kammer auf einer Temperatur beibehalten wird, welche höher als eine Temperatur ist, bei welcher das Quellengas gefriert, und/oder einen Ablauf zum Steuern eines Betriebes von einem Erwärmer derart durchzuführen, dass ein Emitter temporär erwärmt wird, wenn das Quellengas ausgetauscht wird. |
