| 摘要 |
Eine Einrichtung eines fokussierten Ionenstrahls umfasst ein Linsen-Interferometer, welches dazu ausgebildet ist, eine Relativposition zwischen einer Ionenstrahl-Säule und einer Probe zu erfassen. Ein Bilderzeugungs-Abschnitt umfasst einen Bestrahlungsposition-Spezifizierungsabschnitt, welcher dazu ausgebildet ist, eine Bestrahlungsposition von einem Ionenstrahl basierend auf der erfassten Relativposition zwischen der Ionenstrahl-Säule und der Probe zu spezifizieren, und einen Leuchtdichte-Einstellabschnitt, welcher dazu ausgebildet ist, eine Leuchtdichte von einem Pixel von einem Beobachtungsbild basierend auf der spezifizierten Bestrahlungsposition von dem Ionenstrahl und einer erfassten Menge von Sekundär-Partikeln einzustellen. |
