| 摘要 |
Eine optische Baugruppe (13) dient zur simultanen Lichtleitwerterhöhung einer Nutz-Emission (12) einer Lichtquelle (2) mit einem ursprünglichen lichtleitwert kleiner als 0,1 mm2 für ein Beleuchtungssystem (5) für die Projektionslithografie. Die optische Baugruppe (13) ist so ausgeführt, dass eine Erhöhung des Lichtleitwertes um mindestens einen Faktor 10 resultiert. |
