一种双绒面晶体硅太阳电池的制造方法

摘要

本发明公开了一种双绒面晶体硅太阳电池的制造方法，它涉及晶体硅太阳电池制造领域。本发明通过对晶体硅太阳电池普遍工艺流程的改进，在晶体硅太阳电池普遍工艺流程的基础上增加一道背表面镀膜工艺，在晶体硅太阳电池前、后表面制作双绒面陷光结构，增强了晶体硅太阳电池的陷光效应，提高太阳电池的光电转换效率。

主权项

一种双绒面晶体硅太阳电池的制造方法，其特征在于，其制造工艺流程为：1、制绒及扩散前清洗；2、扩散制结；3、背表面镀膜；4、刻蚀去边结及去PSG（磷硅玻璃），5、PECVD镀膜；6、丝网印刷金属化电极及烧结。