发明名称 |
正型感光性树脂组成物及其图案形成方法;POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING THE SMAE |
摘要 |
本发明为一种正型感光性树脂组成物,包含:酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类之酯化物(B)、还原防止剂(C)以及溶剂(D)。其中,该邻萘醌二叠氮磺酸类之酯化物(B)系将邻萘醌二叠氮磺酸化合物与羟基化合物溶于有机溶剂中,并以胺类化合物作为缩合剂,经缩合反应而得,且于正型感光性树脂组成物中,该胺类化合物之残留量为1ppm至50ppm。 |
申请公布号 |
TW201437760 |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
TW102110678 |
申请日期 |
2013.03.26 |
申请人 |
奇美实业股份有限公司 |
发明人 |
刘骐铭;施俊安 |
分类号 |
G03F7/039(2006.01);G03F7/022(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/039(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
主权项 |
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地址 |
台南市仁德区三甲里59之1号 |