发明名称 正型感光性树脂组成物及其图案形成方法;POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING THE SMAE
摘要 本发明为一种正型感光性树脂组成物,包含:酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类之酯化物(B)、还原防止剂(C)以及溶剂(D)。其中,该邻萘醌二叠氮磺酸类之酯化物(B)系将邻萘醌二叠氮磺酸化合物与羟基化合物溶于有机溶剂中,并以胺类化合物作为缩合剂,经缩合反应而得,且于正型感光性树脂组成物中,该胺类化合物之残留量为1ppm至50ppm。
申请公布号 TW201437760 申请公布日期 2014.10.01
申请号 TW102110678 申请日期 2013.03.26
申请人 奇美实业股份有限公司 发明人 刘骐铭;施俊安
分类号 G03F7/039(2006.01);G03F7/022(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/039(2006.01)
代理机构 代理人 <name>蔡坤财</name><name>李世章</name>
主权项
地址 台南市仁德区三甲里59之1号