彩色滤光层及其制造方法;COLOR FILTER LAYER AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

一种彩色滤光层之制造方法，应用于积体电路制程中，包含下列步骤。首先，提供一基底。于基底上定义出一空槽结构，空槽结构包含复数个正型光阻图案以及复数个凹槽。接着，形成一第一组彩色滤光图案于该等凹槽中。之后，去除该等正型光阻图案而露出部分之基底表面。以及，形成一第二组彩色滤光图案于露出部分之基底表面。