区熔炉上轴限位保护装置

摘要

本发明创造提供区熔炉上轴限位保护装置，包括区熔炉、线圈、多晶棒料、观察窗法兰、PLC控制器、激光测距传感器、上轴伺服控制器和上轴速度电机，多晶棒料位于区熔炉内，且与上轴速度电机连接，线圈位于多晶棒料下端，观察窗法兰位于区熔炉一侧，且观察窗法兰内设有玻璃，激光测距传感器位于玻璃外侧，激光测距传感器输出信号通过信号线分别与PLC控制器和上轴伺服控制器连接，所述上轴伺服控制器通过信号线与所述上轴速度电机连接。本发明创造通过在炉外安装激光测距传感器，增加检测和自动控制多晶棒料与线圈距离的功能，避免因人为控制失误造成多晶料与高频线圈之间的挤压、碰撞而造成损失，降低了成本。

主权项

区熔炉上轴限位保护装置，其特征在于：包括区熔炉(1)、线圈(2)、多晶棒料(3)、观察窗法兰(4)、PLC控制器、激光测距传感器(5)、上轴伺服控制器和上轴速度电机，所述多晶棒料(3)位于所述区熔炉(1)内，且与所述上轴速度电机连接，所述线圈(2)位于所述多晶棒料(3)下端，所述观察窗法兰(4)位于所述区熔炉(1)的一侧，且所述观察窗法兰(4)内设有玻璃，所述激光测距传感器(5)位于所述玻璃外侧，所述PLC控制器通过信号线分别与所述激光测距传感器(5)和所述上轴伺服控制器连接，所述上轴伺服控制器通过信号线与所述上轴速度电机连接。