具有气体导引装置的光罩盒

摘要

本发明是有关于一种具有气体导引装置的光罩盒，其装设有一气体导引装置，气体导引装置连通光罩盒的至少一进气孔，并具有对应光罩盒的一第一气体流动空间的一第一出气开口及对应光罩盒的一第二气体流动空间的一第二出气开口。当进气孔供应一高洁净气体至气体导引装置，高洁净气体流经气体导引装置，并由第一出气开口及第二出气开口分别流至第一气体流动空间及第二气体流动空间，以使高洁净气体均匀分布于第一气体流动空间及第二气体流动空间，并提升对光罩的清洁效率及有效保护光罩并避免光罩与空气接触，所以减少高洁净气体的使用量，进而提升高洁净气体的充填效率。

主权项

一种具有气体导引装置的光罩盒，其特征在于，其包含：一底座，其具有至少一进气孔；一盖体，其罩设于该底座，并与该底座间具有一容置空间，该容置空间容置一光罩，该光罩分隔该容置空间为一第一气体流动空间及一第二气体流动空间；以及至少一气体导引装置，其设置于该底座，该气体导引装置具有一第一气体导引流道、至少一第二气体导引流道、至少一第三气体导引流道、一第一出气开口及一第二出气开口，该第一气体导引流道与该进气孔相连通，该第二气体导引流道及该第三气体导引流道与该第一气体导引流道相连通，该第一出气开口与该第二气体导引流道相连通，该第二出气开口与该第三气体导引流道相连通，该第一出气开口对应该第一气体流动空间，该第二出气开口对应该第二气体流动空间；其中该第一出气开口的开口面积小于该第二出气开口的开口面积，以使该第一气体流动空间内的一高洁净气体的流量与该第二气体流动空间内的该高洁净气体的流量相同。