晶圆图数据的处理方法及系统

摘要

本发明公开了一种晶圆图数据的处理方法及系统。其中方法包括选择晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到wfp格式晶圆图文本文件；选择所述晶圆图文本文件；选择要转换文件的类型；命名要生成的Excel图形格式文件名称；转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件相对应的Excel图形格式文件。其将晶圆图文本文件格式统一，降低封装出错风险，对不同分BIN标识颜色，以便后续进行晶圆良率分析，避免手动编辑效率低的问题，提高工作效率。

主权项

一种晶圆图数据的处理系统，其特征在于，包括wfp格式晶圆图文本文件转换模块和Excel图形格式文件转换模块，其中：所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块，用于将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式晶圆图文本文件；所述Excel图形格式文件转换模块，用于将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件。