发明名称 |
一种减压扩散炉 |
摘要 |
本实用新型公开了一种减压扩散炉。为了提高电池片效率,增加扩散均匀性,所述减压扩散炉包括炉体柜和气源柜,以及设置在炉体柜内与气源柜连通的反应管;所述反应管的尾气出口与一使反应管内保持负压状态的减压系统相连。本实用新型减压扩散炉采用高温负压工艺,可提高电池片扩散均匀性,并防止高温负压工艺的污染,以及对设备仪器的腐蚀。 |
申请公布号 |
CN203855684U |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
CN201420153112.6 |
申请日期 |
2014.04.01 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
刘良玉;曹立雄;张宝锋;童晖;曹骞 |
分类号 |
C30B31/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/06(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强;李发军 |
主权项 |
一种减压扩散炉,包括炉体柜(23)和气源柜(24),以及设置在炉体柜(23)内与气源柜(24)连通的反应管(2);其特征在于,所述反应管(2)的尾气出口与一使反应管(2)内保持负压状态的减压系统(25)相连。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |