发明名称 |
一种基于物料供应系统模型的流量控制方法 |
摘要 |
一种基于物料供应系统模型的流量控制方法,该方法具体包括:根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型;其中,物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室,其中,被控反应腔室有压力计监控压力;定义偏差并引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;获取物料供应系统系统状态反馈控制律;通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数;根据被控反应腔室端的压力状态作为检测信号,以及反馈控制律参数,对被控反应腔室进行同步调节流量控制机构,实现了物料流量的优化控制及反应腔室的压力稳定。 |
申请公布号 |
CN104073785A |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
CN201410307167.2 |
申请日期 |
2014.06.30 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬 |
分类号 |
C23C16/52(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/52(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;陈慧弘 |
主权项 |
一种基于物料供应系统模型的流量控制方法,其特征在于,所述方法具体包括如下步骤:步骤S1:根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型;其中,所述物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室,被控反应腔室通过压力计监控压力;步骤S2:定义偏差并引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;步骤S3:获取物料供应系统系统状态反馈控制律;步骤S4:通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数;步骤S5:根据所述被控反应腔室端的压力状态作为检测信号,以及所述反馈控制律参数,对所述被控反应腔室进行同步调节流量控制机构,实现物料流量的优化控制。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |