发明名称 一种基于物料供应系统模型的流量控制方法
摘要 一种基于物料供应系统模型的流量控制方法,该方法具体包括:根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型;其中,物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室,其中,被控反应腔室有压力计监控压力;定义偏差并引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;获取物料供应系统系统状态反馈控制律;通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数;根据被控反应腔室端的压力状态作为检测信号,以及反馈控制律参数,对被控反应腔室进行同步调节流量控制机构,实现了物料流量的优化控制及反应腔室的压力稳定。
申请公布号 CN104073785A 申请公布日期 2014.10.01
申请号 CN201410307167.2 申请日期 2014.06.30
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬
分类号 C23C16/52(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 主分类号 C23C16/52(2006.01)I
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人 吴世华;陈慧弘
主权项 一种基于物料供应系统模型的流量控制方法,其特征在于,所述方法具体包括如下步骤:步骤S1:根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型;其中,所述物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室,被控反应腔室通过压力计监控压力;步骤S2:定义偏差并引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;步骤S3:获取物料供应系统系统状态反馈控制律;步骤S4:通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数;步骤S5:根据所述被控反应腔室端的压力状态作为检测信号,以及所述反馈控制律参数,对所述被控反应腔室进行同步调节流量控制机构,实现物料流量的优化控制。
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