远程控制系统及控制装置、客户端和信息采集装置

摘要

本发明提供一种远程控制系统及控制装置、客户端和信息采集装置。片材制造工序的该远程控制系统的特征在于，具备控制装置和与其异地设置的客户端装置，控制装置具有第一信息收发单元和信息生成单元，客户端装置具有第二信息收发单元和片材制造控制单元，第一与第二信息收发单元通过网络远程连接，控制装置基于用第一信息收发单元接收到的与光半导体元件和光半导体装置相关的第1信息以及与清漆相关的第2信息，通过信息生成单元生成与片材制造条件相关的第3信息，用第一信息收发单元通过网络将第3信息发送给客户端装置，客户端装置用第二信息收发单元接收第3信息，通过片材制造控制单元基于第3信息控制片材制造工序的制造条件。

主权项

一种片材制造工序的远程控制系统，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半导体元件的半导体装置，其特征在于，所述远程控制系统包括中央控制装置和与所述中央控制装置异地设置的客户端装置，所述中央控制装置具有第一信息收发单元和信息生成单元，所述客户端装置具有第二信息收发单元和片材制造控制单元，所述中央控制装置的所述第一信息收发单元与所述客户端装置的第二信息收发单元通过网络远程连接，所述中央控制装置基于用所述第一信息收发单元接收到的与光半导体元件和光半导体装置相关的第1信息以及与所述清漆相关的第2信息，通过所述信息生成单元生成与片材制造条件相关的第3信息，并用所述第一信息收发单元通过网络将所述第3信息发送给所述客户端装置，所述客户端装置用所述第二信息收发单元接收所述第3信息，并通过所述片材制造控制单元根据所述第3信息对所述片材制造工序的制造条件进行控制。