发明名称 有序三维纳米结构阵列的卷对卷制造方法及其材料和产品
摘要 本发明公开了预定或有序三维纳米结构阵列的卷对卷制造方法、及其相关材料和制造品。所述方法可以包括:通过在衬底上滚动包括结构的二维阵列的圆筒形图案,来压印衬底以具有二维图案。此外,还提供了通过对工艺参数的控制来控制或确定纳米结构参数。
申请公布号 CN104078532A 申请公布日期 2014.10.01
申请号 CN201410123263.1 申请日期 2014.03.28
申请人 香港科技大学 发明人 范智勇;梁兆丰
分类号 H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/06(2012.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 H01L31/20(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 陈源;顾丽波
主权项 一种方法,包括:接收衬底;以及压印所述衬底以具有二维(2‑D)图案,该步骤包括:在所述衬底上滚动包括结构的二维阵列的圆筒形图案,其中所述二维图案对应于将要形成在所述衬底上的预定三维(3‑D)纳米结构。
地址 中国香港九龙清水湾