发明名称 |
有序三维纳米结构阵列的卷对卷制造方法及其材料和产品 |
摘要 |
本发明公开了预定或有序三维纳米结构阵列的卷对卷制造方法、及其相关材料和制造品。所述方法可以包括:通过在衬底上滚动包括结构的二维阵列的圆筒形图案,来压印衬底以具有二维图案。此外,还提供了通过对工艺参数的控制来控制或确定纳米结构参数。 |
申请公布号 |
CN104078532A |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
CN201410123263.1 |
申请日期 |
2014.03.28 |
申请人 |
香港科技大学 |
发明人 |
范智勇;梁兆丰 |
分类号 |
H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/06(2012.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
H01L31/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
陈源;顾丽波 |
主权项 |
一种方法,包括:接收衬底;以及压印所述衬底以具有二维(2‑D)图案,该步骤包括:在所述衬底上滚动包括结构的二维阵列的圆筒形图案,其中所述二维图案对应于将要形成在所述衬底上的预定三维(3‑D)纳米结构。 |
地址 |
中国香港九龙清水湾 |